XQ1 5-GⅠ（通用型激光平面干涉仪）
XQ1 5-GⅠ(Genelral laser Plarle lnterferometer)
特点
防震性能好、有极好的条纹锁定度、视场清晰、生产场所可用性优于市场同类产品，大容量的工作室为大批量生产企业的大镜面检测提供了方便。

用途：
可广泛用于工厂的计量室、光学车间和科研院所的实验室。光学平面的平面度测量、光学平板的微小楔角测量、光学材料均匀性测量、光学薄板波前误差的测量。

特点：
防震性能好、有极好的条纹锁定度、视场清晰、生产场所可用性优于市场同类产品，大容量的工作室为大批量生产企业的大镜面检测提供了方便。

1. 第一标准平面（A面），工作直径D1=Φ146mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
2. 第二标准平面（B面），工作直径D2=Φ140mm，平面的面形偏差小于0.03μm(λ/20)
3. 准直系统－－－－－－－－－－－－－－－－－工作直径Φ146mm，焦距 f = 400mm
4. 光源规格－－－－－－－－－－－－－－－－－激光ZN18(He-Ne)
5. 干涉室尺寸－－－－－－－－－－－－－－－－Φ480×380×285mm