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- G30U正立式激光干涉仪通光口径为Φ30mm,镜头上置,仪器具备良好的隔振性能,适合光学车间现场的制程检验,拼盘检验,小批量多品
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- 激光平面干涉仪
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- G200M,G150M和G150S激光平面干涉仪为正立式结构,通光口径分别为200mm和150mm。 G200M弥补了国内使用有效口径150mm的干涉仪测试
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